S'exprimant lors d'une conférence à Amsterdam, Kevin Zhang a déclaré qu'il était possible que les usines A16 de l'entreprise soient conçues pour accueillir la technologie, mais que cela n'était pas certain. TSMC est le plus grand utilisateur des machines EUV régulières d'ASML.
TSMC déclare que la machine EUV High NA d'ASML n'est pas nécessaire pour le nœud A16
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