Axcelis annonce de multiples livraisons de Purion M sur des commandes subséquentes et le placement d'un nouvel outil d'évaluation
Le 20 janvier 2022 à 14:00
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AxcelisTechnologies, Inc. a annoncé plusieurs livraisons d'implanteurs de courant moyen Purion M à des fabricants de dispositifs à technologie de processus mature. En outre, un nouvel outil d'évaluation Purion M a été livré à un fabricant de dispositifs de mémoire. Les systèmes ont été livrés à différentes dates au cours du quatrième trimestre de 2021 et du premier trimestre de 2022.
Axcelis Technologies, Inc. conçoit, fabrique et entretient des équipements d'implantation ionique et d'autres équipements de traitement utilisés dans la fabrication de puces à semi-conducteurs. La société propose une gamme complète d'implanteurs à haute énergie, à courant élevé et à courant moyen pour toutes les exigences d'application. En plus de l'équipement, la société fournit des produits et des services complets de cycle de vie après-vente, y compris des outils usagés, des pièces de rechange, des mises à niveau d'équipement, des services de maintenance et des formations pour les clients. Ses systèmes phares Purion sont tous basés sur une plate-forme commune, qui permet de combiner pureté, précision et productivité des implants. Combinant une station d'extrémité de tranche unique, avec des architectures de faisceau ponctuel avancées (qui garantissent que tous les points de la tranche voient la même condition de faisceau au même angle de faisceau), les produits Purion permettent le contrôle du processus pour optimiser les performances et le rendement des dispositifs, à une productivité élevée. La société vend ses produits aux fabricants de puces à semi-conducteurs du monde entier.